【上证报专访】晶瑞股份吴天舒：突破光刻胶只是一小步......（转）

发布日期:2021-02-03 10:38:48   浏览次数:4865   来源:晶瑞股份

     研发一款新产品，光买设备就要花2亿元，而且3年内无法产生经济效益，做不做？

     “为了解决‘卡脖子’问题，再大的投入也得上这个项目。”近日，晶瑞股份董事长吴天舒在接受上海证券报记者专访时表示，公司瞄准的就是“卡”我国半导体产业脖子的高端集成电路用光刻胶。

　　“我们期望3年内完成ArF光刻胶的产业化。”吴天舒表示，晶瑞股份把助力中国半导体产业发展当成使命和目标，将围绕光刻胶及周边，自主研发产品族群。据了解，除了光刻胶，晶瑞股份在高纯双氧水、高纯硫酸、高纯氨水等领域的布局也渐次开花结果。

　　“公司的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，争取3年内完成ArF光刻胶的量产。”吴天舒告诉记者，购入浸没式光刻机，将加速更高端的ArF光刻胶的研发，尽早解决半导体光刻胶“卡脖子”问题。“我们在原材料上已做了储备，光刻机到货就可以建立测试平台。”

　　一个背景是，越先进的芯片制程技术，需要波长越短的光刻胶，光刻胶的研发难度也越大。目前，全球用量最大的是先进的KrF（248nm）、ArF（193nm）光刻胶，最先进的则是EUV（<13.5nm）光刻胶。

　　“ArF光刻胶覆盖到晶圆制造的28nm制程，可满足除手机芯片外的大部分芯片国产化需要，对信息化建设意义巨大，是当前最亟需实现国产化的半导体材料之一。”吴天舒透露，未来适当时机会开展EUV光刻胶的研发。

　　在已有多家上市公司表示要进军光刻胶领域的情况下，晶瑞股份有什么优势和绝招？

　　“不止是配方、原材料的难题，更难的是产品的稳定性和一致性。”吴天舒解释称，从研发看，高端光刻胶配方难度大，部分稀缺的原材料被几家巨头垄断；产业化方面，晶圆厂的先进工艺对光刻胶要求苛刻，要求多个批次的光刻胶在性能、稳定性、一致性上必须做到毫无差异，这就要求光刻胶厂商有极强的质量管控能力。

　　“从业28年，晶瑞股份在研发和管控上都有丰富经验和显著优势。”吴天舒告诉记者，目前公司的i线光刻胶已向多家半导体头部公司供货。

　　“以光刻胶为中心，瞄准量大、面广，不断开拓周边产品。”对于公司的泛半导体材料业务战略，吴天舒介绍说，公司围绕半导体光刻工艺，布局了高纯硫酸、高纯双氧水、高纯氨水等超净高纯化学试剂。此外，公司还有满足平板显示、太阳能等行业的硝酸、盐酸、氢氟酸等超净高纯试剂。

　　为什么要布局这么多的电子化学品品类？“这是由半导体产业特性决定的。”吴天舒称，晶圆制造是一个复杂的过程，需要上百道工序、几十种湿法化学品，而每一个品类的用量相对又比较小。晶圆厂希望一家厂商供应尽可能多的试剂，来减少采购和品控压力。在这种情况下，公司供应的品类增加，有助于扩大经营规模、增厚利润、提升竞争力。

　　“高纯双氧水已经放量，高纯硫酸项目快速推进中……”吴天舒如数家珍地介绍着每一个项目的进展。

　　记者注意到，2020年11月，晶瑞股份举行了年产9万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸一期项目落成典礼，一期3万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目即将正式投产。

　　有业内人士解读称，相较于光刻胶，高纯硫酸在半导体领域的用量更大，也是亟需国产化的材料，高纯硫酸项目有望成为晶瑞股份未来2年的利润增长点。

　　记者了解到，晶瑞股份还开展了功能性材料业务，主要是以光刻胶配套试剂为主的显影液、剥离液、蚀刻液和清洗液等复配材料，并已向半导体头部公司实现批量供货。

　　如此巨大的研发投入，晶瑞股份拿什么来支撑？

　　“用新能源材料业务反哺电子化学品业务。”吴天舒表示，公司深知电子化学品研发周期长、单品起量慢，为了支撑电子化学品业务的持续研发，公司布局了可快速盈利的新能源材料业务。据悉，晶瑞股份的锂电池材料产品主要有锂电池粘结剂、CMC以及NMP（N-甲基吡咯烷酮）、电解液等。

　　“CMC-Li将成为公司新的利润增长点。”吴天舒介绍，目前锂电池负极材料普遍用羧甲基纤维素钠（CMC-Na），该材料80%的市场份额为日韩企业把控。为实现国产化，公司自主研发了全新的负极用纤维素增稠剂——CMC-Li（羧甲基纤维素锂），该产品能更好地提高LFP（磷酸铁锂）电极材料与电解液之间的界面性能，有效降低电荷转移电阻，增强电化学反应活性和动力学性能。

　　“在半导体光刻胶领域，晶瑞股份即将与中国半导体产业一起迎来春天。”吴天舒表示。

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